石英坩埚的分类

石英坩埚分为方形、圆形两大类:圆形的石英坩埚是用在单晶炉里拉制单晶硅的;方形的石英坩埚是用在多晶硅铸锭中的。 
(1)圆形的石英坩埚。圆形的石英坩埚又分透明和不透明两种。透明的石英坩埚是用石英玻璃管在氢氧火焰的高温中扩径、封端后,再吹制而成的。透明的石英坩埚具有石英玻璃的所有特性,它是高纯的二氧化硅体,对高纯硅的纯度影响极低;它具有极低的膨胀系数、非常低的热导率、相当良好的电绝缘性,特别是耐温性能极好,可在1450°C 以下使用,所以可用在单晶炉里盛装熔化的多晶硅液体。但透明石英坩埚的制作工艺复 杂,成本太高,而且容易导致不均匀的热传输,不利于电子工业的发展。另外,现在的制造方法还不能制造出大口径的透明石英坩埚。不透明的石英坩埚是用电弧法制成的,工艺简单,成本低,而且可以生产出大口径的坩埚,完全可以满足单晶硅生产的需要。
(2)方形的石英坩埚。方形的石英坩埚一般不是纯的石英玻璃制成的,是用石英陶瓷制成的,其全称应该是“方形石英玻璃陶瓷坩埚”